中国科学院脑科学与智能技术卓越创新中心于2020年起筹微纳电子加工平台。在上海市和松江区的支持下，平台已建成850平方米的百级/千级洁净室，引进了电子束光刻机、接触式光刻机、磁控溅射、电子束蒸镀等超大
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